Другие журналы

научное издание МГТУ им. Н.Э. Баумана

НАУКА и ОБРАЗОВАНИЕ

Издатель ФГБОУ ВПО "МГТУ им. Н.Э. Баумана". Эл № ФС 77 - 48211.  ISSN 1994-0408

Периодическая геттерная очистка внутриприборной газовой среды

# 06, июнь 2014
DOI: 10.7463/0614.0715485
Файл статьи: Basarab_M.pdf (750.60Кб)
авторы: профессор Матвеев В. А., профессор, д.т.н. Басараб М. А., Лунин Б. С., Захарян Р. А., Чуманкин Е. А.

УДК 665.939.5

Россия,  МГТУ им. Баумана

МГУ им. М.В. Ломоносова

Институт общей физики РАН

ОАО "АНПП "Темп-Авиа"


Применение клеев и герметиков в технологии сборки современных вакуумных электронно-механических приборов позволяет соединять детали из различных материалов и значительно уменьшает себестоимость изделий. Однако газовыделение из клеевых швов ухудшает внутриприборный вакуум и ограничивает их рабочий ресурс. Согласно сделанной на основе литературных данных оценке, при склейке деталей типового вакуумного прибора эпоксидным клеем с малым газовыделением, давление выделившихся газов в течение 10 лет эксплуатации составит несколько десятков Па, что, как правило,  ведет к потере его работоспособности. Длительное вакуумное обезгаживание клеевых швов при повышенной температуре решает эту проблему, но большая трудоемкость этой операции препятствует ее использованию в массовом производстве. Цель работы состояла в рассмотрении возможности улучшения вакуума в отпаянных приборах за счет особенностей свойств геттерных материалов. Известные сегодня геттерные композиции в нормальных условиях хорошо поглощают только активные газы (кислород, азот, окись и двуокись углерода и т.п), но практически не поглощают углеводороды. Активность геттеров в отношении углеводородов имеет место лишь при температуре 450-500ºС, когда на нагретой поверхности происходит термический распад молекул CxHy и адсорбция продуктов пиролиза. Многие типы геттеров имеют встроенные электронагреватели, которые позволяют осуществить нагрев активной массы до этих температур. Поэтому  для приборов, которые включаются сравнительно редко или однократно необходимый уровень вакуума может быть достигнут включением геттера непосредственно перед использованием прибора. Кратковременный нагрев геттера позволяет удалить из внутренней атмосферы вакуумного прибора основной остаточный газовой компонент – углеводороды и обеспечить работоспособность изделия в течение достаточно длительного интервала времени. Проведение дополнительного обезгаживания внутренних клеевых швов в процессе изготовления прибора при этом не требуется. Предложенное техническое решение позволяет в ряде случаев существенно упростить технологию производства вакуумных приборов с внутренними клеевыми соединениями и обеспечивает их работоспособность после многолетнего хранения.

Список литературы
  1. Outgassing Data for Selecting Spacecraft Materials. Available at: http://www.outgassing.nasa.gov, accessed 01.05.2014.
  2. Астахов П.А., Войтенко Л.И. Клеи и компаунды на основе модифицированных эпоксидных смол // Клеи. Герметики. Технологии. 2005. № 2. С. 12-15.
  3. Лукина Н.Ф., Петрова А.П. Свойства и применение клеев в приборной технике // Клеи. Герметики. Технологии. 2005. № 11. С. 11-15.
  4. Харитонов Н.П., Веселов П.А., Кузинец А.С. Вакуумплотные композиционные материалы на основе полиорганосилоксанов. Л.: Наука, 1976. 196 с.
  5. Gerlach A., Keller W., Schulz J., Schumacher K . Gas permeability of adhesives and their application for hermetic packaging of microcomponents // Microsystem Technologies. 2001. Vol . 7, iss . 1. P . 17-22. DOI:10.1007/s005420000056
  6. Крейсберг В.А., Лунин Б.С., Захарян Р.А. Газовыделение в вакууме из некоторых термостойких клеев // Клеи. Герметики. Технологии. 2013. № 11. С. 11-14.
  7. Матвеев В.А., Басараб М.А., Крейсберг В.А., Лунин Б.С., Захарян Р.А. Обеспечение вакуума в приборах с внутренними клеевыми соединениями // Вестник МГТУ им.   Н.Э. Баумана. Сер. Приборостроение. 2014. № 4. (в печати).
  8. Быков Д.В., Лясников В.Н., Филимонов С.А. Плазменные нераспыляемые газопоглотители в производстве изделий электронной техники // Обзоры по электронной технике. Сер. 7. Технология, организация производства и оборудование. 1989. Вып. 1(1423). С. 1-62.
  9. Саксаганский Г.Л., Уколов С.И. Вакуумно-технологические характеристики нераспыляемых геттеров и средства откачки на их основе. М.: ЦИНТИхимнефтемаш, 1991. 56 с. (Сер. ХМ-6. Криогенное и вакуумное машиностроение. Обзорная информация).
  10. Boffito C., Sartorio E. Un update of non-evaporable getters in electron tubes // VAKUUM-Technik. 1986. Vol . 35 , no. 7. P . 212-217.
  11. Ferrario B., Figini A., Borghi M. A new generation of porous non-evaporable getters // Vacuum. 1985. Vol. 35, no. 1. P.13-17. DOI: 10.1016/0042-207X(85)90070-3
  12. Parcash S., Vijendran P. Sorption of Active Gases by Nonevaporable Getter // Vacuum. 1983. Vol. 33, no. 5. Р. 295-299. DOI: 10.1016/0042-207X(83)90095-7
  13. Verhoeven J., Doveren H . Interactions of residual gases with a barium getter film as measured by AES and XPS // J. Vac. Sci. Technol. 1982. Vol. 20, no.1. P. 64-74.
  14. SAES Technical Product Reports // SAES group: website. Available at:http://www.saesgetters.com, accessed 01.05.2014.



 

Поделиться:
 
ПОИСК
 
elibrary crossref ulrichsweb neicon rusycon
 
ЮБИЛЕИ
ФОТОРЕПОРТАЖИ
 
СОБЫТИЯ
 
НОВОСТНАЯ ЛЕНТА



Авторы
Пресс-релизы
Библиотека
Конференции
Выставки
О проекте
Rambler's Top100
Телефон: +7 (915) 336-07-65 (строго: среда; пятница c 11-00 до 17-00)
  RSS
© 2003-2024 «Наука и образование»
Перепечатка материалов журнала без согласования с редакцией запрещена
 Тел.: +7 (915) 336-07-65 (строго: среда; пятница c 11-00 до 17-00)