Аверьянихин Артур Евгеньевич

В статье описываются алгоритмы трансформации топологии субмикронных СБИС, ориентированные на применение для некоторых классов сложно-функциональных блоков, проектируемых для последующего производства по технологии двойного фотошаблона и удовлетворяющих условиям воспроизведения заданной топологии по технологии двойного фотошаблона.

В статье рассматриваются подходы к решению задачи трансформации топологии субмикронных СБИС для технологии двойного фотошаблона. Для каждого элемента топологии выделен определенный класс с множеством элементарных методов. Обработка элементов заключается в их последовательном переборе, анализе расстояний между контурами геометрических примитивов на предмет удовлетворения заданному критерию. Если расстояние между контурами геометрических примитивов не удовлетворяет заданному критерию, производится разделение анализируемых примитивов на два различных слоя топологии. Рассмотрен алгоритм раскраски графа для проведения анализа топологии на предмет возможности трансформации для технологии двойного фотошаблона.